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本文標(biāo)題:掃描電子顯微鏡工作原理

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-4-10 10:04:57

掃描電子顯微鏡工作原理

探測(cè)收集轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，再經(jīng)光電和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來控制屏上

電子束的強(qiáng)度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，

反映了標(biāo)本的外部結(jié)構(gòu)。

為了使標(biāo)本外觀發(fā)射出次級(jí)電子，標(biāo)本在固定、脫水后，要噴涂上一

層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級(jí)電子信號(hào)。

光學(xué)顯微鏡由電子槍發(fā)射的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級(jí)聚

光鏡及物鏡的縮小形成能譜儀獲得。具有一定能量、強(qiáng)度微細(xì)電子束

，在掃描驅(qū)動(dòng)下樣品外部，形貌觀察式掃描。

聚焦電子束與相互作，產(chǎn)生二次電子發(fā)射信號(hào)。二次電子信號(hào)被探測(cè)

器收集轉(zhuǎn)換成電訊號(hào)，經(jīng)放大后輸入柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃

描的顯像管亮度，得到二次電子像。

放大率與普通光學(xué)顯微鏡不同，是通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放

大率的。如果要高的放大率，只需要掃描小塊就可。放大率由面積除

以掃描面積得到。所以透鏡與放大率無關(guān)。

場(chǎng)深在焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而

成象。小層的厚度稱為場(chǎng)深，通常為幾納米厚，所以用于納米樣品的

三維成像。

電子束與表層發(fā)生作用，它實(shí)際上厚度范圍內(nèi)發(fā)生作用體積的厚度因

信號(hào)的不同而不同。